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この場合において、前記作動体の前記先端側外面部分は前記ハウジングの前記先端側内面部分に外周側から支持された状態で前記作動体の前記駆動部が前記コレットの前記被動部を内周側へ駆動することが望ましい。また、前記作動体の前記基端側外面部分と前記ハウジングの前記基端側内面部分との間に介在するシール部材により、前記作動体の前記シリンダ摺接部と前記シリンダ構造の内面との間が気密に構成されることが望ましい。

図７には、第６実施形態のハンドリングユニット６０の正面図（ａ）及び縦断面図（ｂ）を示す。この第６実施形態では、第１実施形態と同様のコレット６１、ハウジング６２及び作動体６３を備え、第１実施形態と同様のコネクタ６８を介して流体供給口６２ｐから流体がシリンダ構造内に供給可能になっている。このため、第１～第５実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、コレット６１が把持対象物Ｐの内周部を内側から把持する把持面６１ｇを備える複数のフィンガー部６１ｃを備えている点で第１実施形態と異なる。また、この構成に対応して、作動体６３は、コレット６１の軸孔６１ｘの内部を通過して、コレット６１の内面の一部で構成される被動部６１ｔに内側から当接して駆動力を与える駆動部６３ｃを先端外面に備える。さらに、コレット６１は、ハウジング６２の内面の一部の支持面部６２ｍに（インロー状態で）嵌合する基準部６１ａを備えるとともに、その軸線方向基端側に、ハウジング６２の内面の一部に形成された雌ねじ部に螺合する雄ねじ部を備えた被固定部６１ｅを備える。この実施形態では、コレット６１は、被固定部６１ｅのハウジング６２に対する螺合によって軸線方向の位置が固定され、基準部６１ａのハウジング６２の支持面部６２ｍに対する嵌合によって軸線に沿った同軸状の位置及び姿勢が保持されている。これにより、上記各実施形態と同様に、作動時においてコレット６１の位置及び姿勢が維持されながら作動体６３の駆動部６３ｃにより把持動作が行われるため、把持精度や繰り返し精度を向上できる。

ハンドリングユニット１０には、制御部１０１に検出信号を出力する種々のセンサを設置することができる。例えば、前述の第４実施形態の位置検出器４９と同様に、作動体１３の軸線方向の位置を検出し、検出信号Ｓｓを出力する作動体位置検出器Ｓ１と、コレット１１の軸線方向の位置を検出し、検出信号Ｓｃを出力するコレット位置検出器Ｓ２と、コレット１１の複数の弾性変形部１１ｂ又はフィンガー部１１ｃの各々において、弾性変形量やこれに伴う歪に基づく電圧、電流などをそれぞれ検出し、検出信号Ｓｄを出力する把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５と、複数のフィンガー部１１ｃの少なくとも一つに設置され、検出信号Ｓｔを出力する熱電対などの把持対象物Ｐの温度を検出する温度検出器や、導電率を検出する抵抗センサ、把持対象物Ｐの振動を検出する振動センサなどの、把持対象物の各種の物理量を検出する把持対象物検出器Ｓ６とを設けることができる。ここで、上記把持態様検出器Ｓ３～Ｓ５は、各弾性変形部１１ｂやフィンガー部１１ｃに対応するそれぞれの検出信号Ｓｄを出力するものであってもよく、また、検出信号Ｓｄとして、複数の弾性変形部１１ｂやフィンガー部１１ｃの間のセンサ値の差や比を出力するものであってもよい。

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なお、ハウジング１２の先端部１２ｃは、本体１２ａに対してボルトなどで着脱可能に構成されているとともに、先端部１２ｃを本体１２ａから取り外した状態ではコレット１１も着脱可能に構成される。このため、ハンドリングユニット１０を図示しないロボットアームの先端部などから取り外すことなしに、コレット１１を交換することができるので、コレットにおける把持構造の変更やスプリングバック量の変更などを容易に行うことができる。

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本発明はハンドリングユニット及びハンドリング装置に係り、特に、ハンドリング装置のロボットアーム先端などに取り付けて対象物を把持し、移載、分配、取出、導入、加工などの種々の用途に用いる場合に好適な、把持部を備えたハンドリングユニットに関する。